半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
品牌情况
该制造业各个机构为高度领先地位的半导体心片公测制造业各个机构,地处珠三角形地区划分,核心对其进行中高端心片的片区和装封软件测试。考虑到偏远地区优质必须严格的,制造业各个机构决定的快速执行废水办理零摆放水利。項目于明年通电,202两年6月建起投建,办理总量为200吨/日,总投资人约2000百万元。
废水处理组成成分及因素
该类意图小学划片废污水更具下列特殊性:
高溶度氟化物,大部分源于晶圆切除后的家电清洗工作,氟阳离子溶度超过150-200mg/L
含纳米技术级硅粉顆粒,颗粒直径多在100-500nm相互之间
有机肥料承载较高,COD在500-800mg/L
包含氢化物发生器高价属如铅、镉等
导电率高,大多数在2000-3000μS/cm
加工生产工艺具体流程
为保持零释放工作目标,鑫霖环保流程图方案重要充分考虑废气区分收录和资源性回报:
化工废水细分收录程序
:将含氟污水与同一污水分不开收藏
物理化学凝固除氟
:用有级钙盐沉垫物法,做好高效、性价比最高沉垫物池
高端氧化反应治理
:二氧化物碳离子液体氧化物溶解难治理充分物
膜果汁软件
:分为DTRO碟管式反覆盖,果汁公因数为10倍
蒸发掉晶粒
:MVR机器蒸气再压解汽化器正确处理浓水
干涩软件
:将晶粒盐干燥处理后对于工业园副食品外售
加工目的
系统运动数据资料提示 :
氟化物去掉率>99.9%,出水量氟阴阳离子<1mg/L
COD总清理率>98%,水流COD<20mg/L
水状况的回收并率>95%,仅产生少量出析出盐
每人每年可二手回收高产品质量中水回用水约6万吨
凝结盐溶解度确保制造业级细则,确保资源量化灵活运用
内容除了实现目标了生产废水零进行排放,还进行环境资源收废创新了约80千元/年的木制托盘回报率。