某半导体材料电子器件生产厂在晶圆手工加工方式中，施用硅烷对其进行硅外加发育，排放洗滌塔行成高溶液浓度含硅污污废水 。污污废水 都具有pH起伏大（2-11）、硅分子量高的显著特点，常用正确处理做法易出显硅垢阻塞困难。 废液有效成分及原因 工业废水核心材料为： 溶于性硅酸盐 ：SiO₂含量达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢阳极氧化钠 ：洗衣塔碱酸洗衣液留 科粒硅 ：纳米技术级SiO₂固体 痕量砷 ：原辅料杂质残渣带到 补救的工艺环节 多元化选取"多级结合+膜过滤程序+蒸馏凝结"加工： 6级结合 ：用CaO设定pH至4-5，绘制硅酸钙沉定，硅除掉率60%。 五级结合 ：加Na₂CO₃将pH提高至9，进步骤沉淀自己结余硅，串联用镁剂除砷。 反渗透膜设备 ：0.02μm陶瓷图片膜脱水纳米级级硅粒状，通量稳定可靠在80LMH。 MVR减压蒸馏器 ：果汁高盐废水处理，成果出Na₂SO₄副企业产品，水循环率超90%。 最中使用效果 总硅从1500mg/L高于5mg/L下例 砷纯度从0.8mg/L降为0.01mg/L 系统无积灰进行高于2年 每月回收处理硫酸钠钠结晶约800吨