某半导体技术研发制造业企业因晶圆进行维护清洁工艺技术诞生含氨化工废水,蓄水量200吨/天。化工废泥里除高锰酸盐指数外还富含氟化物和微量分析高价属,清理分值大。本地人水质标准规定标准规定标准高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生产废水基本成分及源于
晶圆洁净污水(关键种类):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工作化工废水:含进样器铜、镍等高价属,pH值起伏较大大
CMP打磨废水处理方法:含硅科粒及挥发酚
治疗技术注意事项
所采用"物理放置+膜剥离 +折点氯化"结构生产技术:
预处置
:添加CaCl2除氟,设定pH在7.5-8.
反渗透膜系统软件
:出掉0.01μm及以上颗粒状物
反渗浸提
:将高锰酸盐指数果汁至1000mg/L以下
折点氯化
:高精度操纵氯添加量,将高锰酸盐指数转成为N2
阴阳离子交換
:服务保障巨资属符合标准
不可能成果
挥发酚平稳<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属的含量降至查测限
水造纸废水处理率达75%
废水诞生量提高40%