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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

投资项目背景图片 该半导材料品牌地属长角形的地方,通常生孩子859英寸和1259英寸晶圆,日进行排放物废蓄水量约2000吨。因半导材料生孩子流程比较复杂,生产废水外理部分齐全且带有多个难光降解产品,品牌和原有解决设备不可符合进一步要从严的环保健康进行排放物标准化,故加盟2亿元新砌的专科生产废水外理解决站。 废污水成份及源头 该企业主生产废水主要是可分成四种: 含氟废水处理方法:的来始于晶圆蚀刻、洗涤生产工艺,氟正离子密度高达mg2000mg/L; 无机质电镀废水:源于光刻、成像等加工,含带异丙醇、甲苯等无机质萃取剂,COD值在5000mg/L左古; 碱酸工业废水:行成于家电清洗和表层外理的环节,pH值起伏较大大; 含铜电镀工艺废水:根据电镀工艺和铝合金煤化工艺,铜阴离子氧化还原电位约150mg/L。 除理加工过程流量 造成各种经营性质的废水处置方法,分为"划分收录+分质处置+末段深度1处置"的组成生产工艺: 含氟废污水清理线: 多级化学上沉淀自己出的:先污泥脱水氯化钙改善pH至6-7,加个入PAC和PAM斜板沉淀自己池沉淀自己出的; 灵活性空气三氧化二铝吸出:以保证氟铝离子含量调至8mg/L下面。 可挥发废污水清理线: 微电解设备不良反应:铁碳人工湿地填料床预处置提供废气可血生化性; UASB活性污泥表现器:HRT=24h,COD除掉率65%; MBR膜生物体反馈器:按照PVDF中空夹胶玻璃弹性纤维膜,喷水COD<50mg/L。 酸碱平衡废液中合系統: 系统自动pH可以调节:完成在线上数据监测仪操作加酸加碱量; 斜管沉定池沉定:弄掉结合导致的透明桌面物。 含铜废液处置: 耐腐蚀悠长岁月中:加药系统NaOH自动调节pH至9-10,构成氢阳极氧化铜悠长岁月中; 正亚铁离子传递:有效确保铜正亚铁离子密度<0.3mg/L。 角度工作标段: 臭氧杀菌崔化氧化反应:进步降解塑料难工业制硝酸生物碳物; 抗逆性炭活性炭过滤:的还原色饱和度和轻微环境破坏物; UV紫外线,线空气消毒:事关出水量分子生物学体的指标未达标。 然后成效 的项目执行后,出液水硬度维持满足《光电子工农业水破坏物减排规格》(GB 39731-2020)尤其减排允许值规范,这其中氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。第二年可抑制氟化物减排约120吨,COD减排约400吨,收售水影视资源约10万吨。整体主动化系数高,执行成本费用控制在8.5元/吨水差不多。

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